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蔡司三坐標CONTURA精度最高1.5μm，來自蔡司的靈活、可靠和優(yōu)秀的品質(zhì)保證測量平臺。最新一代測量機精度更高，可兼容多種光學(xué)式探頭，從而實現(xiàn)更廣的測量范圍。優(yōu)異的測量技術(shù)、蔡司CALYPSO測量軟件以及高度優(yōu)化的通用測量程序令CONTURA成為同類測量機中的標桿之作。
蔡司三坐標CONTURA?精度和測量范圍：
1.5μm + L/350 (7/7/6 and 7/10/6)
1.6μm + L/350 (9/12/8 and 9/18/8)
1.7μm + L/350 (10/12/6 and 10/16/6)
2.1μm + L/350 (12/18/8 and 12/24/8)